類型 | 型號 | 厚度/um | 作用光譜 | 工藝應(yīng)用 |
光敏干膜/SU8干膜 | 國產(chǎn)/進(jìn)口 | 10-200 | ghi-line | 電鍍、刻蝕、鍵合、微流控、WLP、MEMS等 |
彩色光刻膠 | RGB光刻膠 | 0.5-1.5 | ghi-line | 可用于CFA/CFM,可定制 |
彩色SU-8 | 0.5-150 | |||
納米壓印膠 | mr-NIL6000E | 0.1-1 | 熱固化/UV固化 | 可用于納米圖形的制造、多層結(jié)構(gòu) |
SIPOL | 0.1-1 | 熱固化 | ||
mr-UVCur21 | 0.1-1 | UV固化 | ||
光固化膠 | Ormo系列 | 0.1-300 | 熱固化/UV固化 | 適用于光柵、WLO、光耦合器等 |
旋涂介電材料 | SOG | 一種基于聚硅氧烷的旋涂介電材料;可用作粘合介質(zhì),并在永久或部分蝕刻模式下用作保護(hù)涂層 | ||
臨時鍵合膠 | 國產(chǎn)/進(jìn)口 | 熱解鍵合、激光解鍵合等 | ||
永久鍵合膠 | 熱固化、UV固化、常溫固化、混合固化等 | |||
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